超純水與我們的飲用水相比有很大區別，它的成分中基本只有水分子這一種元素，礦物質、有機物、鈣鎂離子等物質幾乎都被去除。如果長期飲用超純水，就會導致我們人體缺少必須的微量元素，不利于骨骼、牙齒、肌肉和身體器官的健康。因此，超純水往往用于工業生產當中。它是理想的清洗半導體材料的清洗水，也是純水切割工藝中的優良原料，它的高純凈度決定了其基本不會對產品質量造成任何影響。

超純水的生產工藝十分嚴格，可以采用具備“反滲透+EDI+拋光混床”技術的超純水設備來生產。超純水設備是目前市場上正在大力推廣的超純水生產設備，其采用的反滲透技術能實現良好的離子類物質脫除效果。這得益于反滲透膜分離技術擁有納米級的分離能力，可以有效過濾出有機物、無機鹽、金屬離子、細菌等物質，保證水分子產出質量的同時還能有效防止堵塞。

EDI技術是實現超純水深度脫鹽的優良技術，它的處理過程中不會產生酸堿廢液，為后續工藝省去了酸堿中和反應處理的麻煩，環保性能好。拋光混床技術是超純水設備中比較末端的處理工藝，能進一步保證生產出的超純水水質穩定，使水質可以達到18MΩ*cm（25℃）。

超純水在集成電路清洗應用價值很高。作為一種承擔著信息儲存和記憶功能的電子材料，集成電路上集合了很多細小的電子元件，一旦被顆粒、灰塵、金屬氧化物污染，就很容易報廢。采用超純水對集成電路進行沖洗，既可以充分去除灰塵顆粒之類的雜質，還能保證不會引入其他污染物，安全性能高。